低温外延生长平整ZnO薄膜
저온외연생장평정ZnO박막
Smooth Surface Morphology of ZnO Thin Films on Sapphire at Low Temperature
  • 万方数据
    发光学报 발광학보
    CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
    2014年 5期 542-547 ,共6页

    赵鹏程%张振中%姚斌%李炳辉%王双鹏%姜明明%赵东旭%单崇新%赵海峰

    조붕정%장진중%요빈%리병휘%왕쌍붕%강명명%조동욱%단숭신%조해봉

    ZnO%分子束外延%生长温度%平整表面 ZnO%分子束外延%生長溫度%平整錶麵
    ZnO%분자속외연%생장온도%평정표면
    ZnO%molecular beam epitaxy%growth temperature%smooth growth
    在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面.本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450℃下生长了一系列ZnO薄膜样品.在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率.样品的生长速率为40～100 nm/h.通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒；降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整.原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度.这种平整表面的获得得益于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配.
    재교저온도하실현평정ZnO박막적생장유리우ZnO적가공p형참잡이급획득두초이질계면.본문사용분자속외연방법,채용a면람보석위츤저,재450℃하생장료일계렬ZnO박막양품.재부양생장적조건하,고정양류량불변,통과조절자원온도래개변자속류,이차조공생장속솔.양품적생장속솔위40～100 nm/h.통과소묘전경(SEM)표정발현:재고자속류적생장조건하,양품표면유흔다불규칙적과립；강저자적공응량후,양품표면축점평정.원자력현미경(AFM)측시결과표명:양품적균방근표면조조도(RMS)지유0.238 nm,접근우원자급평정도.저충평정표면적획득득익우교저적생장속솔,이급ZnO외연박막여a면람보석츤저지간소적정격실배.
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