华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2012年
4期
66-69
,共4页
邵士运%陈俊芳%赵益冉%冯军勤%高鹏
邵士運%陳俊芳%趙益冉%馮軍勤%高鵬
소사운%진준방%조익염%풍군근%고붕
氮化锌薄膜%直流磁控溅射%表面形貌%光学带隙
氮化鋅薄膜%直流磁控濺射%錶麵形貌%光學帶隙
담화자박막%직류자공천사%표면형모%광학대극
采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多；晶粒尺寸逐渐变大；Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
採用直流磁控濺射的方法,在不同溫度的玻璃襯底上生長Zn3N2薄膜.研究瞭襯底溫度對樣品的微結構、錶麵形貌以及光學性質的影響.結果錶明,隨著襯底溫度的升高,生長的Zn3N2薄膜擇優取嚮增多；晶粒呎吋逐漸變大；Zn3N2薄膜間接光學帶隙由1.86 eV逐漸增大到2.26 eV.
채용직류자공천사적방법,재불동온도적파리츤저상생장Zn3N2박막.연구료츤저온도대양품적미결구、표면형모이급광학성질적영향.결과표명,수착츤저온도적승고,생장적Zn3N2박막택우취향증다；정립척촌축점변대；Zn3N2박막간접광학대극유1.86 eV축점증대도2.26 eV.
