计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
5期
395-399
,共5页
黄雷%马宏%马钟焕%尹子
黃雷%馬宏%馬鐘煥%尹子
황뢰%마굉%마종환%윤자
计量学%自适应%单频激光干涉仪%直流分量%等倾干涉条纹能量
計量學%自適應%單頻激光榦涉儀%直流分量%等傾榦涉條紋能量
계량학%자괄응%단빈격광간섭의%직류분량%등경간섭조문능량
通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析,研制一种自适应系统.该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法.实验结果表明,可有效处理噪声信号,提取信号直流分量,从而提高直流分量跟踪精度.将该系统安装在单频激光干涉仪上,在非实验室环境条件下其线性测长准确度可达0.9×10-6 L,测量重复性为0.09μm.
通過對單頻激光榦涉儀焦平麵上等傾榦涉條紋的能量分析和環境因素帶來的隨機譟聲分析,研製一種自適應繫統.該繫統採用瞭四階纍積量計算法、信號濾波和信號直流分量提取算法.實驗結果錶明,可有效處理譟聲信號,提取信號直流分量,從而提高直流分量跟蹤精度.將該繫統安裝在單頻激光榦涉儀上,在非實驗室環境條件下其線性測長準確度可達0.9×10-6 L,測量重複性為0.09μm.
통과대단빈격광간섭의초평면상등경간섭조문적능량분석화배경인소대래적수궤조성분석,연제일충자괄응계통.해계통채용료사계루적량계산법、신호려파화신호직류분량제취산법.실험결과표명,가유효처리조성신호,제취신호직류분량,종이제고직류분량근종정도.장해계통안장재단빈격광간섭의상,재비실험실배경조건하기선성측장준학도가체0.9×10-6 L,측량중복성위0.09μm.
