计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2012年
5期
385-390
,共6页
郭彤%王思明%王龙龙%陈津平%傅星%胡小唐
郭彤%王思明%王龍龍%陳津平%傅星%鬍小唐
곽동%왕사명%왕룡룡%진진평%부성%호소당
计量学%原子力显微镜测头%双反馈测量模式%压电陶瓷台%纳米定位平台
計量學%原子力顯微鏡測頭%雙反饋測量模式%壓電陶瓷檯%納米定位平檯
계량학%원자력현미경측두%쌍반궤측량모식%압전도자태%납미정위평태
为了提高原子力显微镜(AFM)的测量范围,设计了一种基于双反馈测量模式的大范围自感应原子力显微镜系统,测量系统中有两条反馈回路:一条反馈回路由压电陶瓷与AFM测头组成,动态响应较快的压电陶瓷位移台的运动量可以表征被测样品表面的高频信息；另一条反馈回路由压电陶瓷位移台和纳米测量机(NMM)的反馈控制器组成,利用压电陶瓷位移台的位移信号控制NMM运动,NMM的mm级z向测量范围使得被测样品较大变化范围的低频轮廓信息很容易地被表征出来.使用本系统对平面样品和一维栅格进行了测量实验,实验结果表明采用双反馈的测量模式的AFM测量系统能够有效地表征被测样品的低频轮廓信息和表面高频信息,测量范围能够达到mm级,纵向分辨率达到nm级,具有良好测量重复性.
為瞭提高原子力顯微鏡(AFM)的測量範圍,設計瞭一種基于雙反饋測量模式的大範圍自感應原子力顯微鏡繫統,測量繫統中有兩條反饋迴路:一條反饋迴路由壓電陶瓷與AFM測頭組成,動態響應較快的壓電陶瓷位移檯的運動量可以錶徵被測樣品錶麵的高頻信息；另一條反饋迴路由壓電陶瓷位移檯和納米測量機(NMM)的反饋控製器組成,利用壓電陶瓷位移檯的位移信號控製NMM運動,NMM的mm級z嚮測量範圍使得被測樣品較大變化範圍的低頻輪廓信息很容易地被錶徵齣來.使用本繫統對平麵樣品和一維柵格進行瞭測量實驗,實驗結果錶明採用雙反饋的測量模式的AFM測量繫統能夠有效地錶徵被測樣品的低頻輪廓信息和錶麵高頻信息,測量範圍能夠達到mm級,縱嚮分辨率達到nm級,具有良好測量重複性.
위료제고원자력현미경(AFM)적측량범위,설계료일충기우쌍반궤측량모식적대범위자감응원자력현미경계통,측량계통중유량조반궤회로:일조반궤회로유압전도자여AFM측두조성,동태향응교쾌적압전도자위이태적운동량가이표정피측양품표면적고빈신식；령일조반궤회로유압전도자위이태화납미측량궤(NMM)적반궤공제기조성,이용압전도자위이태적위이신호공제NMM운동,NMM적mm급z향측량범위사득피측양품교대변화범위적저빈륜곽신식흔용역지피표정출래.사용본계통대평면양품화일유책격진행료측량실험,실험결과표명채용쌍반궤적측량모식적AFM측량계통능구유효지표정피측양품적저빈륜곽신식화표면고빈신식,측량범위능구체도mm급,종향분변솔체도nm급,구유량호측량중복성.
