中国科技纵横
中國科技縱橫
중국과기종횡
CHINA SCIENCE & TECHNOLOGY PANORAMA MAGAZINE
2013年
16期
116-117
,共2页
磁控溅射%镀膜工艺%膜层厚度%靶位%设备
磁控濺射%鍍膜工藝%膜層厚度%靶位%設備
자공천사%도막공예%막층후도%파위%설비
磁控溅射镀膜技术是一种广泛应用的沉积镀膜方法，其设备和工艺的成熟促成了工业化生产的局面。但其在稳定、控制运行仍有相当大的需求空间。本文根据自己长年在设备安装、调试、维护的经验，对磁控溅射镀膜、镀膜工艺流程特别是镀膜技术中膜厚控制有详细的体会。
磁控濺射鍍膜技術是一種廣汎應用的沉積鍍膜方法，其設備和工藝的成熟促成瞭工業化生產的跼麵。但其在穩定、控製運行仍有相噹大的需求空間。本文根據自己長年在設備安裝、調試、維護的經驗，對磁控濺射鍍膜、鍍膜工藝流程特彆是鍍膜技術中膜厚控製有詳細的體會。
자공천사도막기술시일충엄범응용적침적도막방법，기설비화공예적성숙촉성료공업화생산적국면。단기재은정、공제운행잉유상당대적수구공간。본문근거자기장년재설비안장、조시、유호적경험，대자공천사도막、도막공예류정특별시도막기술중막후공제유상세적체회。
