振动与冲击
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JOURNAL OF VIBRATION AND SHOCK
2013年
15期
8-13
,共6页
安全域%微机电系统%吸合%分形%时滞%反馈
安全域%微機電繫統%吸閤%分形%時滯%反饋
안전역%미궤전계통%흡합%분형%시체%반궤
safe basin%MEMS%pull-in%fractal%time delay%feedback
以一类静电驱动微结构谐振传感器为研究对象,基于安全域思想研究了系统直流偏置电压和交流激励电压幅值引起的结构吸合不稳定现象.运用Melnikov函数法得到引起微结构吸合不稳定的系统参数门槛值,且运用四阶Rung-Kutta方法和点映射方法数值地验证了交流电压幅值对系统的吸合区域的影响规律.结果表明,直流偏置电压的增大均易引起微结构的吸合效应,而交流电压幅值的增大则会导致微结构的吸合不稳定.通过实施时滞位移反馈控制来抑制系统的吸合不稳定,数值结果验证了该控制方法的有效性.所得结果在静电驱动微机电系统的设计领域有潜在的应用价值.
以一類靜電驅動微結構諧振傳感器為研究對象,基于安全域思想研究瞭繫統直流偏置電壓和交流激勵電壓幅值引起的結構吸閤不穩定現象.運用Melnikov函數法得到引起微結構吸閤不穩定的繫統參數門檻值,且運用四階Rung-Kutta方法和點映射方法數值地驗證瞭交流電壓幅值對繫統的吸閤區域的影響規律.結果錶明,直流偏置電壓的增大均易引起微結構的吸閤效應,而交流電壓幅值的增大則會導緻微結構的吸閤不穩定.通過實施時滯位移反饋控製來抑製繫統的吸閤不穩定,數值結果驗證瞭該控製方法的有效性.所得結果在靜電驅動微機電繫統的設計領域有潛在的應用價值.
이일류정전구동미결구해진전감기위연구대상,기우안전역사상연구료계통직류편치전압화교류격려전압폭치인기적결구흡합불은정현상.운용Melnikov함수법득도인기미결구흡합불은정적계통삼수문함치,차운용사계Rung-Kutta방법화점영사방법수치지험증료교류전압폭치대계통적흡합구역적영향규률.결과표명,직류편치전압적증대균역인기미결구적흡합효응,이교류전압폭치적증대칙회도치미결구적흡합불은정.통과실시시체위이반궤공제래억제계통적흡합불은정,수치결과험증료해공제방법적유효성.소득결과재정전구동미궤전계통적설계영역유잠재적응용개치.
