润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2014年
4期
15-22,60
,共9页
化学机械抛光%化学作用%机械作用%材料去除%损伤
化學機械拋光%化學作用%機械作用%材料去除%損傷
화학궤계포광%화학작용%궤계작용%재료거제%손상
chemical mechanical polishing%chemical effect%mechanical effect%material removal%damage
通过模拟化学机械抛光的工况条件,对不同化学作用的单晶硅片表面进行纳米划痕实验,利用现代分析仪器与技术,对抛光后单晶硅片的表面和亚表面损伤进行研究.结果表明:在一定的工况参数条件下,机械作用和化学作用匹配时,可以获得高的材料去除率和无表面层及亚表层损伤的高质量的抛光表面.在化学机械抛光过程中,机械作用的加强可以提高材料去除率,但作用力增至一定值之后,抛光后表层和亚表层损伤将逐渐加大;化学作用可以增加机械作用下的材料去除率,但抛光表面在化学反应作用下会产生表面损伤.通过调整机械参数如压力和速度等可以控制摩擦化学反应中的反应热,从而实现机械作用对摩擦扩散化学的控制,调控单晶硅片的超精密抛光中化学物质的使用,实现环保型绿色抛光.
通過模擬化學機械拋光的工況條件,對不同化學作用的單晶硅片錶麵進行納米劃痕實驗,利用現代分析儀器與技術,對拋光後單晶硅片的錶麵和亞錶麵損傷進行研究.結果錶明:在一定的工況參數條件下,機械作用和化學作用匹配時,可以穫得高的材料去除率和無錶麵層及亞錶層損傷的高質量的拋光錶麵.在化學機械拋光過程中,機械作用的加彊可以提高材料去除率,但作用力增至一定值之後,拋光後錶層和亞錶層損傷將逐漸加大;化學作用可以增加機械作用下的材料去除率,但拋光錶麵在化學反應作用下會產生錶麵損傷.通過調整機械參數如壓力和速度等可以控製摩抆化學反應中的反應熱,從而實現機械作用對摩抆擴散化學的控製,調控單晶硅片的超精密拋光中化學物質的使用,實現環保型綠色拋光.
통과모의화학궤계포광적공황조건,대불동화학작용적단정규편표면진행납미화흔실험,이용현대분석의기여기술,대포광후단정규편적표면화아표면손상진행연구.결과표명:재일정적공황삼수조건하,궤계작용화화학작용필배시,가이획득고적재료거제솔화무표면층급아표층손상적고질량적포광표면.재화학궤계포광과정중,궤계작용적가강가이제고재료거제솔,단작용력증지일정치지후,포광후표층화아표층손상장축점가대;화학작용가이증가궤계작용하적재료거제솔,단포광표면재화학반응작용하회산생표면손상.통과조정궤계삼수여압력화속도등가이공제마찰화학반응중적반응열,종이실현궤계작용대마찰확산화학적공제,조공단정규편적초정밀포광중화학물질적사용,실현배보형록색포광.
