陕西师范大学学报（自然科学版）
陝西師範大學學報（自然科學版）
협서사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHAANXI NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2014年
1期
62-64
,共3页
微量氟化物%玻璃%循环蚀刻技术
微量氟化物%玻璃%循環蝕刻技術
미량불화물%파리%순배식각기술
micro fluoride%glass%recycling etching technology
应用正交试验和单因子实验分别确定了微氟循环蚀刻液的配比及微氟循环蚀刻的最佳工艺条件.结果表明,蚀刻的最佳工艺条件为:pH=5.5,温度为48℃,时间为2.2h.并经SEM和IR实验测试,玻璃表面蚀刻均匀,蚀刻深度为5.8 μm,深度均一,表面平整,无侧蚀现象.蚀刻后废液经化学处理可实现循环使用.
應用正交試驗和單因子實驗分彆確定瞭微氟循環蝕刻液的配比及微氟循環蝕刻的最佳工藝條件.結果錶明,蝕刻的最佳工藝條件為:pH=5.5,溫度為48℃,時間為2.2h.併經SEM和IR實驗測試,玻璃錶麵蝕刻均勻,蝕刻深度為5.8 μm,深度均一,錶麵平整,無側蝕現象.蝕刻後廢液經化學處理可實現循環使用.
응용정교시험화단인자실험분별학정료미불순배식각액적배비급미불순배식각적최가공예조건.결과표명,식각적최가공예조건위:pH=5.5,온도위48℃,시간위2.2h.병경SEM화IR실험측시,파리표면식각균균,식각심도위5.8 μm,심도균일,표면평정,무측식현상.식각후폐액경화학처리가실현순배사용.
