光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
12期
2674-2679
,共6页
王晓东%朱小明%吕宝林%刘文光
王曉東%硃小明%呂寶林%劉文光
왕효동%주소명%려보림%류문광
极紫外成像仪%光子计数成像仪%极间串扰%伪信号触发%能量上下限%边缘特性
極紫外成像儀%光子計數成像儀%極間串擾%偽信號觸髮%能量上下限%邊緣特性
겁자외성상의%광자계수성상의%겁간천우%위신호촉발%능량상하한%변연특성
为了提高极紫外(EUV)光子计数成像仪的分辨率,分析了EUV成像仪系统WSZ阳极(Wedge Strip Zigzag anode)不同条带间的极间串扰以及非目标能量区间内信号触发产生的伪信号对图像质量的影响.讨论了串扰产生的原因,通过测量极间电容,找到了串扰系数所在的范围,并最终确定最优值；使用该系数对不同能量范围内的光子进行处理,确定了合适的能量区间(上下限).在设定的能量区间重新成像并与原图像进行对比,结果显示图像质量有了明显提高.通过消除极间串扰和剔除混杂在图像数据中的伪数据,使图像的边缘特性更强,提高了图像分辨率.
為瞭提高極紫外(EUV)光子計數成像儀的分辨率,分析瞭EUV成像儀繫統WSZ暘極(Wedge Strip Zigzag anode)不同條帶間的極間串擾以及非目標能量區間內信號觸髮產生的偽信號對圖像質量的影響.討論瞭串擾產生的原因,通過測量極間電容,找到瞭串擾繫數所在的範圍,併最終確定最優值；使用該繫數對不同能量範圍內的光子進行處理,確定瞭閤適的能量區間(上下限).在設定的能量區間重新成像併與原圖像進行對比,結果顯示圖像質量有瞭明顯提高.通過消除極間串擾和剔除混雜在圖像數據中的偽數據,使圖像的邊緣特性更彊,提高瞭圖像分辨率.
위료제고겁자외(EUV)광자계수성상의적분변솔,분석료EUV성상의계통WSZ양겁(Wedge Strip Zigzag anode)불동조대간적겁간천우이급비목표능량구간내신호촉발산생적위신호대도상질량적영향.토론료천우산생적원인,통과측량겁간전용,조도료천우계수소재적범위,병최종학정최우치；사용해계수대불동능량범위내적광자진행처리,학정료합괄적능량구간(상하한).재설정적능량구간중신성상병여원도상진행대비,결과현시도상질량유료명현제고.통과소제겁간천우화척제혼잡재도상수거중적위수거,사도상적변연특성경강,제고료도상분변솔.
