中山大学学报（自然科学版）
中山大學學報（自然科學版）
중산대학학보（자연과학판）
ACTA SCIENTIARUM NATURALIUM UNIVERSITATIS SUNYATSENI
2012年
6期
78-81
,共4页
钛酸铅钡%PBT%介电%铁电%化学溶液沉积法
鈦痠鉛鋇%PBT%介電%鐵電%化學溶液沉積法
태산연패%PBT%개전%철전%화학용액침적법
采用化学溶液沉积法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备钛酸铅钡Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜.薄膜呈纯钙钛矿结构,无杂相生成.此外,薄膜表面光滑致密、没有微裂痕.薄膜得到的晶粒尺寸较小,约为17 nm.在700℃ lh退火的薄膜有良好的电学特性,在1 kHz频率下测量得到的介电常数、损耗因子分别约为265和5％;此外,在500 kV/cm电场驱动下,薄膜得到的剩余极化(2Pr)约为16 μC/cm2,矫顽电场(Ec)约为110 kV/cm.这些结果表明,PBT固溶体薄膜有望成为铁电器件的候选材料.
採用化學溶液沉積法在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上製備鈦痠鉛鋇Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)薄膜.薄膜呈純鈣鈦礦結構,無雜相生成.此外,薄膜錶麵光滑緻密、沒有微裂痕.薄膜得到的晶粒呎吋較小,約為17 nm.在700℃ lh退火的薄膜有良好的電學特性,在1 kHz頻率下測量得到的介電常數、損耗因子分彆約為265和5％;此外,在500 kV/cm電場驅動下,薄膜得到的剩餘極化(2Pr)約為16 μC/cm2,矯頑電場(Ec)約為110 kV/cm.這些結果錶明,PBT固溶體薄膜有望成為鐵電器件的候選材料.
채용화학용액침적법재Pt/TiO2/SiO2/Si기편상제비태산연패Pb0.5Ba0.5TiO3(PBT)박막.박막정순개태광결구,무잡상생성.차외,박막표면광활치밀、몰유미렬흔.박막득도적정립척촌교소,약위17 nm.재700℃ lh퇴화적박막유량호적전학특성,재1 kHz빈솔하측량득도적개전상수、손모인자분별약위265화5％;차외,재500 kV/cm전장구동하,박막득도적잉여겁화(2Pr)약위16 μC/cm2,교완전장(Ec)약위110 kV/cm.저사결과표명,PBT고용체박막유망성위철전기건적후선재료.
