传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
10期
1395-1399
,共5页
刘尧%唐军%刘俊%曹卫达
劉堯%唐軍%劉俊%曹衛達
류요%당군%류준%조위체
仿生MEMS%三维角速度传感器%有限元分析%蜜蜂平衡棒
倣生MEMS%三維角速度傳感器%有限元分析%蜜蜂平衡棒
방생MEMS%삼유각속도전감기%유한원분석%밀봉평형봉
针对目前角速度传感器检测维数单一、体积大的缺点,以蜜蜂平衡棒为仿生模型,详细分析了平衡棒的导航原理,结合MEMS技术,设计了一种新型的三维角速度微传感器.利用ANSYS对传感器结构进行仿真、优化,得到了合适的结构尺寸,在±20 V的驱动电压下,传感器结构中的微柱体摆动幅度可达到7.04°,通过进一步理论计算得到翻滚、俯仰角速度产生的哥氏力为2.467×10-5 N/(°·S-1),偏航角速度产生的哥氏力为7.58×10-7 N/(°·S-1).
針對目前角速度傳感器檢測維數單一、體積大的缺點,以蜜蜂平衡棒為倣生模型,詳細分析瞭平衡棒的導航原理,結閤MEMS技術,設計瞭一種新型的三維角速度微傳感器.利用ANSYS對傳感器結構進行倣真、優化,得到瞭閤適的結構呎吋,在±20 V的驅動電壓下,傳感器結構中的微柱體襬動幅度可達到7.04°,通過進一步理論計算得到翻滾、俯仰角速度產生的哥氏力為2.467×10-5 N/(°·S-1),偏航角速度產生的哥氏力為7.58×10-7 N/(°·S-1).
침대목전각속도전감기검측유수단일、체적대적결점,이밀봉평형봉위방생모형,상세분석료평형봉적도항원리,결합MEMS기술,설계료일충신형적삼유각속도미전감기.이용ANSYS대전감기결구진행방진、우화,득도료합괄적결구척촌,재±20 V적구동전압하,전감기결구중적미주체파동폭도가체도7.04°,통과진일보이론계산득도번곤、부앙각속도산생적가씨력위2.467×10-5 N/(°·S-1),편항각속도산생적가씨력위7.58×10-7 N/(°·S-1).
