传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
10期
1392-1394
,共3页
潘龙丽%石云波%周智君%尚晓亮%刘俊
潘龍麗%石雲波%週智君%尚曉亮%劉俊
반룡려%석운파%주지군%상효량%류준
MEMS(微电子机械系统)%高量程加速度计%动态特性%霍普金森杆%镜像映射法
MEMS(微電子機械繫統)%高量程加速度計%動態特性%霍普金森桿%鏡像映射法
MEMS(미전자궤계계통)%고량정가속도계%동태특성%곽보금삼간%경상영사법
利用霍普金森杆激光干涉冲击试验台对实验室研发的MEMS高量程压阻式加速度传感器进行动态校准;采用两种不同解算方法对实验数据将进行分析处理,求解出该传感器的幅频特性,绘制了对数幅频特性曲线;通过对比两种算法的结果知道,镜像映射法优于FFT算法,其算法简单有效,能直接辨识出系统模型参数和模型阶次.
利用霍普金森桿激光榦涉遲擊試驗檯對實驗室研髮的MEMS高量程壓阻式加速度傳感器進行動態校準;採用兩種不同解算方法對實驗數據將進行分析處理,求解齣該傳感器的幅頻特性,繪製瞭對數幅頻特性麯線;通過對比兩種算法的結果知道,鏡像映射法優于FFT算法,其算法簡單有效,能直接辨識齣繫統模型參數和模型階次.
이용곽보금삼간격광간섭충격시험태대실험실연발적MEMS고량정압조식가속도전감기진행동태교준;채용량충불동해산방법대실험수거장진행분석처리,구해출해전감기적폭빈특성,회제료대수폭빈특성곡선;통과대비량충산법적결과지도,경상영사법우우FFT산법,기산법간단유효,능직접변식출계통모형삼수화모형계차.
