传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
10期
1349-1353
,共5页
微质量传感器%梯形变截面悬臂梁%灵敏度%谐振频率
微質量傳感器%梯形變截麵懸臂樑%靈敏度%諧振頻率
미질량전감기%제형변절면현비량%령민도%해진빈솔
针对微小集中质量测量问题,提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器,建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型.采用有限元方法求解其振动控制方程,获得了微质量传感器的灵敏度.仿真分析结果表明,相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器,单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提高了127.00％和263.00％.采用线切割工艺,加工制备了单压电层梯形变截面结构的微质量传感器并对传感器进行了实验测试,在误差允许范围内,仿真结果与实验结果基本一致,验证了采用梯形变截面悬臂梁式结构可以有效的提高传感器的灵敏度.
針對微小集中質量測量問題,提齣併製備瞭一種梯形變截麵懸臂樑式微質量傳感器,建立瞭梯形變截麵懸臂樑式微質量傳感器的振動分析模型.採用有限元方法求解其振動控製方程,穫得瞭微質量傳感器的靈敏度.倣真分析結果錶明,相對于等截麵矩形懸臂樑式微質量傳感器,單層壓電和雙層壓電結構的變截麵懸臂樑傳感器的靈敏度分彆提高瞭127.00％和263.00％.採用線切割工藝,加工製備瞭單壓電層梯形變截麵結構的微質量傳感器併對傳感器進行瞭實驗測試,在誤差允許範圍內,倣真結果與實驗結果基本一緻,驗證瞭採用梯形變截麵懸臂樑式結構可以有效的提高傳感器的靈敏度.
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