传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2012年
10期
1361-1364
,共4页
郭浩%唐军%张斌珍%刘俊%薛慧%丁宇凯
郭浩%唐軍%張斌珍%劉俊%薛慧%丁宇凱
곽호%당군%장빈진%류준%설혜%정우개
RTD%力电耦合%偏压灵敏度%台阶效应
RTD%力電耦閤%偏壓靈敏度%檯階效應
RTD%력전우합%편압령민도%태계효응
首先通过减小垒前阱的厚度消除了负阻区的“台阶区”,提高负阻区的阻值为-7.916Ω,并通过加压测试RTD(共振隧穿二极管)的力电耦合灵敏度,使其灵敏度由原来的5.5 mA/g增大到7 mA/g,优化了RTD作为MEMS传感器敏感单元的灵敏度,同时也通过增大RTD结构的台面积大小,有效的消除了负阻区的“台阶区”,并使其负阻区的阻值增大为-0.06 Ω,提高了MEMS传感器敏感单元RTD结构的灵敏度.
首先通過減小壘前阱的厚度消除瞭負阻區的“檯階區”,提高負阻區的阻值為-7.916Ω,併通過加壓測試RTD(共振隧穿二極管)的力電耦閤靈敏度,使其靈敏度由原來的5.5 mA/g增大到7 mA/g,優化瞭RTD作為MEMS傳感器敏感單元的靈敏度,同時也通過增大RTD結構的檯麵積大小,有效的消除瞭負阻區的“檯階區”,併使其負阻區的阻值增大為-0.06 Ω,提高瞭MEMS傳感器敏感單元RTD結構的靈敏度.
수선통과감소루전정적후도소제료부조구적“태계구”,제고부조구적조치위-7.916Ω,병통과가압측시RTD(공진수천이겁관)적력전우합령민도,사기령민도유원래적5.5 mA/g증대도7 mA/g,우화료RTD작위MEMS전감기민감단원적령민도,동시야통과증대RTD결구적태면적대소,유효적소제료부조구적“태계구”,병사기부조구적조치증대위-0.06 Ω,제고료MEMS전감기민감단원RTD결구적령민도.
