发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2012年
11期
1264-1267
,共4页
刘邦武%钟思华%何静%夏洋%李超波
劉邦武%鐘思華%何靜%夏洋%李超波
류방무%종사화%하정%하양%리초파
液相沉积%二氧化硅薄膜%钝化
液相沉積%二氧化硅薄膜%鈍化
액상침적%이양화규박막%둔화
采用液相沉积法在硅基底上成功制备了二氧化硅薄膜,利用扫描电子显微镜、光电子能谱和少子寿命测试仪等对二氧化硅薄膜的组织结构和钝化性能进行了研究,结果表明,液相生长的二氧化硅薄膜致密平整,含有少量的F元素；对硅具有较好的减反和钝化作用,平均反射率由28.87％降低至10.88％,表面复合速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s.
採用液相沉積法在硅基底上成功製備瞭二氧化硅薄膜,利用掃描電子顯微鏡、光電子能譜和少子壽命測試儀等對二氧化硅薄膜的組織結構和鈍化性能進行瞭研究,結果錶明,液相生長的二氧化硅薄膜緻密平整,含有少量的F元素；對硅具有較好的減反和鈍化作用,平均反射率由28.87％降低至10.88％,錶麵複閤速度由6 923 cm/s降低至2 830 cm/s.
채용액상침적법재규기저상성공제비료이양화규박막,이용소묘전자현미경、광전자능보화소자수명측시의등대이양화규박막적조직결구화둔화성능진행료연구,결과표명,액상생장적이양화규박막치밀평정,함유소량적F원소；대규구유교호적감반화둔화작용,평균반사솔유28.87％강저지10.88％,표면복합속도유6 923 cm/s강저지2 830 cm/s.
