发光学报
髮光學報
발광학보
CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE
2012年
12期
1295-1298
,共4页
张剑楠%李颜涛%范翊%刘星元
張劍楠%李顏濤%範翊%劉星元
장검남%리안도%범익%류성원
透明导电薄膜%形貌%氧化铟
透明導電薄膜%形貌%氧化銦
투명도전박막%형모%양화인
利用电子束沉积技术首次制备了氟化铒(ErF3)掺杂的氧化铟(In2O3)透明导电薄膜(IEFO),研究了薄膜的晶体结构、光学特性和电学特性.利用原子力显微镜测试了不同厚度薄膜的形貌,初步研究了薄膜的生长过程.研究发现:IEFO薄膜为多晶结构,Er原子的掺入改变了薄膜的优势生长方向,使薄膜在(211)、(222)、(444)3个方向上的生长趋势基本相同.薄膜电阻率为1.265×10-3 Ω·cm,电子迁移率为45.76 cm2·V-1·s-1,电子浓度为1.197×1020 cm-3,在380 ～ 780 nm范围内的可见光平均透过率为81％.
利用電子束沉積技術首次製備瞭氟化鉺(ErF3)摻雜的氧化銦(In2O3)透明導電薄膜(IEFO),研究瞭薄膜的晶體結構、光學特性和電學特性.利用原子力顯微鏡測試瞭不同厚度薄膜的形貌,初步研究瞭薄膜的生長過程.研究髮現:IEFO薄膜為多晶結構,Er原子的摻入改變瞭薄膜的優勢生長方嚮,使薄膜在(211)、(222)、(444)3箇方嚮上的生長趨勢基本相同.薄膜電阻率為1.265×10-3 Ω·cm,電子遷移率為45.76 cm2·V-1·s-1,電子濃度為1.197×1020 cm-3,在380 ～ 780 nm範圍內的可見光平均透過率為81％.
이용전자속침적기술수차제비료불화이(ErF3)참잡적양화인(In2O3)투명도전박막(IEFO),연구료박막적정체결구、광학특성화전학특성.이용원자력현미경측시료불동후도박막적형모,초보연구료박막적생장과정.연구발현:IEFO박막위다정결구,Er원자적참입개변료박막적우세생장방향,사박막재(211)、(222)、(444)3개방향상적생장추세기본상동.박막전조솔위1.265×10-3 Ω·cm,전자천이솔위45.76 cm2·V-1·s-1,전자농도위1.197×1020 cm-3,재380 ～ 780 nm범위내적가견광평균투과솔위81％.
