福建农林大学学报（自然科学版）
福建農林大學學報（自然科學版）
복건농림대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF FUJIAN AGRICULTURE AND FORESTRY UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
6期
650-654
,共5页
掺铟氧化锌%溶胶-凝胶法%半高宽%光学带隙
摻銦氧化鋅%溶膠-凝膠法%半高寬%光學帶隙
참인양화자%용효-응효법%반고관%광학대극
采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备掺铟氧化锌薄膜,研究不同退火温度对薄膜结构及发光性能的影响.结果表明,掺铟氧化锌薄膜仍为六角纤锌矿结构的ZnO相,在大于450 nm的波段薄膜样品的透射率都较高；随着退火温度的升高,透射率先增后减,600℃时达到最大；薄膜样品的光学带隙都小于纯ZnO的理论值(3.37 eV),且随退火温度的升高呈先减后增趋势；样品的结晶度与发光强度随着退火温度的升高而增强.
採用溶膠-凝膠法在石英襯底上製備摻銦氧化鋅薄膜,研究不同退火溫度對薄膜結構及髮光性能的影響.結果錶明,摻銦氧化鋅薄膜仍為六角纖鋅礦結構的ZnO相,在大于450 nm的波段薄膜樣品的透射率都較高；隨著退火溫度的升高,透射率先增後減,600℃時達到最大；薄膜樣品的光學帶隙都小于純ZnO的理論值(3.37 eV),且隨退火溫度的升高呈先減後增趨勢；樣品的結晶度與髮光彊度隨著退火溫度的升高而增彊.
채용용효-응효법재석영츤저상제비참인양화자박막,연구불동퇴화온도대박막결구급발광성능적영향.결과표명,참인양화자박막잉위륙각섬자광결구적ZnO상,재대우450 nm적파단박막양품적투사솔도교고；수착퇴화온도적승고,투사솔선증후감,600℃시체도최대；박막양품적광학대극도소우순ZnO적이론치(3.37 eV),차수퇴화온도적승고정선감후증추세；양품적결정도여발광강도수착퇴화온도적승고이증강.
