化学工程
化學工程
화학공정
CHEMICAL ENGINEERING
2012年
12期
75-78
,共4页
多晶硅%冷氢化%四氯化硅%汽化
多晶硅%冷氫化%四氯化硅%汽化
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对多晶硅生产中的冷氢化工艺做了简单介绍,重点介绍了冷氢化工艺中四氯化硅的4种汽化方式,包括电加热汽化、导热油汽化、直接混合汽化和强制混合汽化,并对这4种汽化方式的优缺点进行了比较,为多晶硅生产工厂和多晶硅工艺设计提供参考.
對多晶硅生產中的冷氫化工藝做瞭簡單介紹,重點介紹瞭冷氫化工藝中四氯化硅的4種汽化方式,包括電加熱汽化、導熱油汽化、直接混閤汽化和彊製混閤汽化,併對這4種汽化方式的優缺點進行瞭比較,為多晶硅生產工廠和多晶硅工藝設計提供參攷.
대다정규생산중적랭경화공예주료간단개소,중점개소료랭경화공예중사록화규적4충기화방식,포괄전가열기화、도열유기화、직접혼합기화화강제혼합기화,병대저4충기화방식적우결점진행료비교,위다정규생산공엄화다정규공예설계제공삼고.
