材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
22期
102-105,121
,共5页
孟影%金绍维%高娟%圣宗强
孟影%金紹維%高娟%聖宗彊
맹영%금소유%고연%골종강
外延膜%沉积氧压%真空退火%输运特性
外延膜%沉積氧壓%真空退火%輸運特性
외연막%침적양압%진공퇴화%수운특성
不同厚度的Nd0.7Sr0.3MnO3(NSMO)外延膜是由脉冲激光沉积生长在(LaAlO3)0.3(Sr2AlTaO6)0.7(LSAT)(001)衬底上的.X射线衍射(XRD)和电阻率测量结果显示,沉积氧压为21.333Pa时薄膜c轴参数随着膜厚的减小而增加,同时金属-绝缘体的转变温度TP下降,电阻率增大；另一组生长在27.999Pa氧压下,厚度为120nm的薄膜单胞体积随着退火温度的升高而增大,同时电阻率升高,TP下降.上述结果归因于低的原位沉积氧压和真空退火引起的氧缺失导致n(Mn3+)/n(M甜+)的增大以及MnO6八面体的畸变.结果表明,对超薄的应变薄膜,要获得较高的TP值,较高的沉积氧压是必需的,同时应仔细考虑真空退火对薄膜性能的影响.
不同厚度的Nd0.7Sr0.3MnO3(NSMO)外延膜是由脈遲激光沉積生長在(LaAlO3)0.3(Sr2AlTaO6)0.7(LSAT)(001)襯底上的.X射線衍射(XRD)和電阻率測量結果顯示,沉積氧壓為21.333Pa時薄膜c軸參數隨著膜厚的減小而增加,同時金屬-絕緣體的轉變溫度TP下降,電阻率增大；另一組生長在27.999Pa氧壓下,厚度為120nm的薄膜單胞體積隨著退火溫度的升高而增大,同時電阻率升高,TP下降.上述結果歸因于低的原位沉積氧壓和真空退火引起的氧缺失導緻n(Mn3+)/n(M甜+)的增大以及MnO6八麵體的畸變.結果錶明,對超薄的應變薄膜,要穫得較高的TP值,較高的沉積氧壓是必需的,同時應仔細攷慮真空退火對薄膜性能的影響.
불동후도적Nd0.7Sr0.3MnO3(NSMO)외연막시유맥충격광침적생장재(LaAlO3)0.3(Sr2AlTaO6)0.7(LSAT)(001)츤저상적.X사선연사(XRD)화전조솔측량결과현시,침적양압위21.333Pa시박막c축삼수수착막후적감소이증가,동시금속-절연체적전변온도TP하강,전조솔증대；령일조생장재27.999Pa양압하,후도위120nm적박막단포체적수착퇴화온도적승고이증대,동시전조솔승고,TP하강.상술결과귀인우저적원위침적양압화진공퇴화인기적양결실도치n(Mn3+)/n(M첨+)적증대이급MnO6팔면체적기변.결과표명,대초박적응변박막,요획득교고적TP치,교고적침적양압시필수적,동시응자세고필진공퇴화대박막성능적영향.
