材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
22期
43-46
,共4页
余超%冒守栋%汪少杰%谢婷婷%孙可卿%宋振纶
餘超%冒守棟%汪少傑%謝婷婷%孫可卿%宋振綸
여초%모수동%왕소걸%사정정%손가경%송진륜
选择性吸收薄膜%吸收率%发射率%热稳定性
選擇性吸收薄膜%吸收率%髮射率%熱穩定性
선택성흡수박막%흡수솔%발사솔%열은정성
采用直流磁控溅射法在铜基底上制备了TiAlN/SiO2选择性吸收薄膜.通过调整制备过程中的工艺参数,得到优化后的组合薄膜(铜基底),其吸收率可达0.92、发射率为0.06.在此组合膜系中,TiAlN为吸收层,SiO2为减反层.对基底为铜片的样品在550℃退火2h,其性质保持稳定,表明TiAlN/SiO2组合薄膜在高湿太阳能选择性吸收领域具有一定的应用前景.
採用直流磁控濺射法在銅基底上製備瞭TiAlN/SiO2選擇性吸收薄膜.通過調整製備過程中的工藝參數,得到優化後的組閤薄膜(銅基底),其吸收率可達0.92、髮射率為0.06.在此組閤膜繫中,TiAlN為吸收層,SiO2為減反層.對基底為銅片的樣品在550℃退火2h,其性質保持穩定,錶明TiAlN/SiO2組閤薄膜在高濕太暘能選擇性吸收領域具有一定的應用前景.
채용직류자공천사법재동기저상제비료TiAlN/SiO2선택성흡수박막.통과조정제비과정중적공예삼수,득도우화후적조합박막(동기저),기흡수솔가체0.92、발사솔위0.06.재차조합막계중,TiAlN위흡수층,SiO2위감반층.대기저위동편적양품재550℃퇴화2h,기성질보지은정,표명TiAlN/SiO2조합박막재고습태양능선택성흡수영역구유일정적응용전경.
