真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2012年
4期
228-231
,共4页
刘洪金%池华敬%郭帅%陈革%章其初
劉洪金%池華敬%郭帥%陳革%章其初
류홍금%지화경%곽수%진혁%장기초
压电陶瓷%迟滞特性%温度特性%有效工作电压
壓電陶瓷%遲滯特性%溫度特性%有效工作電壓
압전도자%지체특성%온도특성%유효공작전압
采用PEV-1型压电陶瓷阀作为溅射气体Ar流量输出的驱动元件,用于真空磁控溅射镀膜中溅射气体恒压力控制.应用过程中发现压电陶瓷阀本身的迟滞特性和温度特性对气体输出流量有较大影响.试验分析得到压电陶瓷阀偏振电压变化过程中,气体输出流量的迟滞曲线.当压电陶瓷阀环境温度升高时,该迟滞特性会减弱,气体输出流量随偏振电压变化速率变大.
採用PEV-1型壓電陶瓷閥作為濺射氣體Ar流量輸齣的驅動元件,用于真空磁控濺射鍍膜中濺射氣體恆壓力控製.應用過程中髮現壓電陶瓷閥本身的遲滯特性和溫度特性對氣體輸齣流量有較大影響.試驗分析得到壓電陶瓷閥偏振電壓變化過程中,氣體輸齣流量的遲滯麯線.噹壓電陶瓷閥環境溫度升高時,該遲滯特性會減弱,氣體輸齣流量隨偏振電壓變化速率變大.
채용PEV-1형압전도자벌작위천사기체Ar류량수출적구동원건,용우진공자공천사도막중천사기체항압력공제.응용과정중발현압전도자벌본신적지체특성화온도특성대기체수출류량유교대영향.시험분석득도압전도자벌편진전압변화과정중,기체수출류량적지체곡선.당압전도자벌배경온도승고시,해지체특성회감약,기체수출류량수편진전압변화속솔변대.
