真空与低温
真空與低溫
진공여저온
VACUUM AND CRYOGENICS
2012年
4期
210-214
,共5页
张荣博%陈学康%王兰喜%王晓毅
張榮博%陳學康%王蘭喜%王曉毅
장영박%진학강%왕란희%왕효의
金刚石/铜复合热沉%热导率%有效导热通道%绝缘层
金剛石/銅複閤熱沉%熱導率%有效導熱通道%絕緣層
금강석/동복합열침%열도솔%유효도열통도%절연층
针对功率半导体器件对高导热、绝缘热沉材料的需求,以高温高压法合成了金刚石/铜复合热沉材料,并沉积金刚石薄膜作为绝缘层.研究结果表明:当金刚石颗粒尺寸为80 ～120μm、金刚石体积百分含量为80％时,复合热沉热导率高达580 W/m·K,并且具有良好的绝缘性.金刚石/铜复合材料在高温高压(6 GPa,1 200 ℃)下形成了部分金刚石骨架作为有效导热通道.
針對功率半導體器件對高導熱、絕緣熱沉材料的需求,以高溫高壓法閤成瞭金剛石/銅複閤熱沉材料,併沉積金剛石薄膜作為絕緣層.研究結果錶明:噹金剛石顆粒呎吋為80 ～120μm、金剛石體積百分含量為80％時,複閤熱沉熱導率高達580 W/m·K,併且具有良好的絕緣性.金剛石/銅複閤材料在高溫高壓(6 GPa,1 200 ℃)下形成瞭部分金剛石骨架作為有效導熱通道.
침대공솔반도체기건대고도열、절연열침재료적수구,이고온고압법합성료금강석/동복합열침재료,병침적금강석박막작위절연층.연구결과표명:당금강석과립척촌위80 ～120μm、금강석체적백분함량위80％시,복합열침열도솔고체580 W/m·K,병차구유량호적절연성.금강석/동복합재료재고온고압(6 GPa,1 200 ℃)하형성료부분금강석골가작위유효도열통도.
