同时模式的中波/长波碲镉汞双色红外探测器
동시모식적중파/장파제력홍쌍색홍외탐측기
Simultaneous mode MW/LW two color HgCdTe infrared detector
  • 万方数据
    红外与毫米波学报 홍외여호미파학보
    JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
    2012年 6期 497-500 ,共4页

    叶振华%李杨%胡伟达%陈路%廖亲君%陈洪雷%林春%胡晓宁%丁瑞军%何力

    협진화%리양%호위체%진로%료친군%진홍뢰%림춘%호효저%정서군%하력

    HgCdTe%中波/长波双色%同时模式%光谱串音 HgCdTe%中波/長波雙色%同時模式%光譜串音
    HgCdTe%중파/장파쌍색%동시모식%광보천음
    采用光刻胶喷涂技术,突破了碲镉汞双色探测器加工的非平面离子注入和金属化开口等工艺.基于分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p3-p2-P1型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过MW光电二极管n型注入区的开口刻蚀、非平面的MW/LW同步B+注入、台面侧向钝化和爬坡金属化,得到了同时模式的128×128面阵MW/LW双色探测器.在液氮温度下,MW/LW双色探测器两个波段的光电二极管截止波长λc分别为5.10 μm和10.10 μm,对应的峰值探测率DλP*分别为2.02×1011cmHz1/2/W和3.10×101/2cmHz1/2/W.通过对同时模式双色探测器材料与芯片结构的优化设计,HgCdTe双色探测器MW向LW、LW向MW的光谱串音分别抑制到了3.8％和4.4％.
    채용광각효분도기술,돌파료제력홍쌍색탐측기가공적비평면리자주입화금속화개구등공예.기우분자속외연(MBE)화원위참잡기술생장적p3-p2-P1형제력홍(Hg1-xCdxTe)다층이질결재료,통과MW광전이겁관n형주입구적개구각식、비평면적MW/LW동보B+주입、태면측향둔화화파파금속화,득도료동시모식적128×128면진MW/LW쌍색탐측기.재액담온도하,MW/LW쌍색탐측기량개파단적광전이겁관절지파장λc분별위5.10 μm화10.10 μm,대응적봉치탐측솔DλP*분별위2.02×1011cmHz1/2/W화3.10×101/2cmHz1/2/W.통과대동시모식쌍색탐측기재료여심편결구적우화설계,HgCdTe쌍색탐측기MW향LW、LW향MW적광보천음분별억제도료3.8％화4.4％.
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