材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
z1期
124-126,146
,共4页
张传鑫%宋广平%孙跃%赵轶杰%赫晓东
張傳鑫%宋廣平%孫躍%趙軼傑%赫曉東
장전흠%송엄평%손약%조질걸%혁효동
电子束物理气相沉积%离子束辅助沉积%等离子辅助沉积
電子束物理氣相沉積%離子束輔助沉積%等離子輔助沉積
전자속물리기상침적%리자속보조침적%등리자보조침적
电子束物理气相沉积是真空蒸发技术的一种,具有蒸发速率高和无污染的特点,目前广泛应用于材料表面涂层的制备.将离子束辅助和等离子辅助与电子束物理气相沉积技术相结合,可以提高蒸发粒子入射能量和扩散能力,改善由于电子束物理气相沉积工艺本身存在阴影效应和扩散能力低而引起的沉积材料的不致密等不足.介绍了电子束物理气相沉积技术的概况,并展望了该技术的未来应用及发展前景.
電子束物理氣相沉積是真空蒸髮技術的一種,具有蒸髮速率高和無汙染的特點,目前廣汎應用于材料錶麵塗層的製備.將離子束輔助和等離子輔助與電子束物理氣相沉積技術相結閤,可以提高蒸髮粒子入射能量和擴散能力,改善由于電子束物理氣相沉積工藝本身存在陰影效應和擴散能力低而引起的沉積材料的不緻密等不足.介紹瞭電子束物理氣相沉積技術的概況,併展望瞭該技術的未來應用及髮展前景.
전자속물리기상침적시진공증발기술적일충,구유증발속솔고화무오염적특점,목전엄범응용우재료표면도층적제비.장리자속보조화등리자보조여전자속물리기상침적기술상결합,가이제고증발입자입사능량화확산능력,개선유우전자속물리기상침적공예본신존재음영효응화확산능력저이인기적침적재료적불치밀등불족.개소료전자속물리기상침적기술적개황,병전망료해기술적미래응용급발전전경.
