材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2012年
z1期
94-97
,共4页
任元%刘学杰%谭心%郭金鸽%孙士阳
任元%劉學傑%譚心%郭金鴿%孫士暘
임원%류학걸%담심%곽금합%손사양
Ti-Si-N薄膜%纳米复合结构%界面结构
Ti-Si-N薄膜%納米複閤結構%界麵結構
Ti-Si-N박막%납미복합결구%계면결구
综述了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展.介绍了研究者对Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究,阐述了Si原子在Ti-Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si-N薄膜沉积过程中的形成机制,并展望了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向.
綜述瞭Ti-Si-N超硬納米複閤薄膜結構形式的研究進展.介紹瞭研究者對Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否為晶態的認識與研究,闡述瞭Si原子在Ti-Si-N中所形成的界麵結構形式的研究現狀以及Ti-Si-N薄膜沉積過程中的形成機製,併展望瞭Ti-Si-N超硬納米複閤薄膜今後的研究方嚮.
종술료Ti-Si-N초경납미복합박막결구형식적연구진전.개소료연구자대Si원자재Ti-Si-N중형성적정계시부위정태적인식여연구,천술료Si원자재Ti-Si-N중소형성적계면결구형식적연구현상이급Ti-Si-N박막침적과정중적형성궤제,병전망료Ti-Si-N초경납미복합박막금후적연구방향.
