长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
4期
76-80
,共5页
张宝庆%史国权%石广丰%宋林森
張寶慶%史國權%石廣豐%宋林森
장보경%사국권%석엄봉%송림삼
铝薄膜%微结构%力学性能%XRD%SEM
鋁薄膜%微結構%力學性能%XRD%SEM
려박막%미결구%역학성능%XRD%SEM
目前光栅机械刻划加工是采用在铬、玻璃等基底上通过真空蒸镀一层微米级铝薄膜后,用金钢石刻划刀作直线往复运动加工而成,蒸镀复合铝薄膜的力学性能对刻划成槽的质量影响较大,受铝薄膜真空蒸镀工艺及尺度效应的影响,各批次铝薄膜质量相差也较大.针对当前仅依靠经验估测铝薄膜质量所带来的问题,采用XRD(X-ray diffraction X-射线衍射)与SEM(scanning electron microscope)实验对铝薄膜微结构进行表征,采用纳米压入测试技术对带玻璃基底铝薄膜力学性能进行分析.研究结果表明,分层镀膜是较好控制晶粒尺寸的方法,力学性能受薄膜平均晶粒尺寸与基底影响较大,随着压入深度的增加,弹性模量与硬度呈下降趋势.
目前光柵機械刻劃加工是採用在鉻、玻璃等基底上通過真空蒸鍍一層微米級鋁薄膜後,用金鋼石刻劃刀作直線往複運動加工而成,蒸鍍複閤鋁薄膜的力學性能對刻劃成槽的質量影響較大,受鋁薄膜真空蒸鍍工藝及呎度效應的影響,各批次鋁薄膜質量相差也較大.針對噹前僅依靠經驗估測鋁薄膜質量所帶來的問題,採用XRD(X-ray diffraction X-射線衍射)與SEM(scanning electron microscope)實驗對鋁薄膜微結構進行錶徵,採用納米壓入測試技術對帶玻璃基底鋁薄膜力學性能進行分析.研究結果錶明,分層鍍膜是較好控製晶粒呎吋的方法,力學性能受薄膜平均晶粒呎吋與基底影響較大,隨著壓入深度的增加,彈性模量與硬度呈下降趨勢.
목전광책궤계각화가공시채용재락、파리등기저상통과진공증도일층미미급려박막후,용금강석각화도작직선왕복운동가공이성,증도복합려박막적역학성능대각화성조적질량영향교대,수려박막진공증도공예급척도효응적영향,각비차려박막질량상차야교대.침대당전부의고경험고측려박막질량소대래적문제,채용XRD(X-ray diffraction X-사선연사)여SEM(scanning electron microscope)실험대려박막미결구진행표정,채용납미압입측시기술대대파리기저려박막역학성능진행분석.연구결과표명,분층도막시교호공제정립척촌적방법,역학성능수박막평균정립척촌여기저영향교대,수착압입심도적증가,탄성모량여경도정하강추세.
