长春理工大学学报（自然科学版）
長春理工大學學報（自然科學版）
장춘리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHANGCHUN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2012年
4期
53-55
,共3页
台阶仪%光学畸变%误差校正%重复精度
檯階儀%光學畸變%誤差校正%重複精度
태계의%광학기변%오차교정%중복정도
微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪,针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而成.本文从工作原理出发,分析了影响系统精度的三个原因:测量臂旋转误差,光学系统畸变,工件倾斜影响.通过软件校正和参数补偿,提高了系统测量精度.实际测试证明,误差校正能够提高仪器测试精度,仪器最小分辨率能达到2 μm,测量重复精度达到了5μm.
微壓力接觸式檯階儀是一種二維形貌檢測儀,針對汽車金屬缸墊等薄片型金屬闆遲壓零件的錶麵呎吋測量研製而成.本文從工作原理齣髮,分析瞭影響繫統精度的三箇原因:測量臂鏇轉誤差,光學繫統畸變,工件傾斜影響.通過軟件校正和參數補償,提高瞭繫統測量精度.實際測試證明,誤差校正能夠提高儀器測試精度,儀器最小分辨率能達到2 μm,測量重複精度達到瞭5μm.
미압력접촉식태계의시일충이유형모검측의,침대기차금속항점등박편형금속판충압령건적표면척촌측량연제이성.본문종공작원리출발,분석료영향계통정도적삼개원인:측량비선전오차,광학계통기변,공건경사영향.통과연건교정화삼수보상,제고료계통측량정도.실제측시증명,오차교정능구제고의기측시정도,의기최소분변솔능체도2 μm,측량중복정도체도료5μm.
