燕山大学学报
燕山大學學報
연산대학학보
JOURNAL OF YANSHAN UNIVERSITY
2012年
6期
486-490
,共5页
FePt薄膜%磁记录%高压%微结构%矫顽力
FePt薄膜%磁記錄%高壓%微結構%矯頑力
FePt박막%자기록%고압%미결구%교완력
采用直流磁控溅射技术在自然氧化的Si基片上生长厚度约为100 nm的原始态FePt:Ag纳米复合薄膜,采用高压退火调控该薄膜的微结构和矫顽力.在873 K温度下,当退火压力从常压增加到0.6 GPa时,退火后所生成的L10-FePt薄膜的有序畴尺寸从d=19 nm减小到d=9 nm,FePt薄膜的晶粒尺寸从D=34 nm减小到D=13nm,且有序畴尺寸和晶粒尺寸分布的均匀性明显提高.随着退火压力的增加FePt:Ag薄膜的矫顽力降低,因此,高压退火可以用来调控FePt:Ag复合薄膜的矫顽力.
採用直流磁控濺射技術在自然氧化的Si基片上生長厚度約為100 nm的原始態FePt:Ag納米複閤薄膜,採用高壓退火調控該薄膜的微結構和矯頑力.在873 K溫度下,噹退火壓力從常壓增加到0.6 GPa時,退火後所生成的L10-FePt薄膜的有序疇呎吋從d=19 nm減小到d=9 nm,FePt薄膜的晶粒呎吋從D=34 nm減小到D=13nm,且有序疇呎吋和晶粒呎吋分佈的均勻性明顯提高.隨著退火壓力的增加FePt:Ag薄膜的矯頑力降低,因此,高壓退火可以用來調控FePt:Ag複閤薄膜的矯頑力.
채용직류자공천사기술재자연양화적Si기편상생장후도약위100 nm적원시태FePt:Ag납미복합박막,채용고압퇴화조공해박막적미결구화교완력.재873 K온도하,당퇴화압력종상압증가도0.6 GPa시,퇴화후소생성적L10-FePt박막적유서주척촌종d=19 nm감소도d=9 nm,FePt박막적정립척촌종D=34 nm감소도D=13nm,차유서주척촌화정립척촌분포적균균성명현제고.수착퇴화압력적증가FePt:Ag박막적교완력강저,인차,고압퇴화가이용래조공FePt:Ag복합박막적교완력.
