计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2012年
6期
41-45
,共5页
压力计量%压力测量%压力基准%液体压力计%微压计
壓力計量%壓力測量%壓力基準%液體壓力計%微壓計
압력계량%압력측량%압력기준%액체압력계%미압계
介绍了一种新型的补偿式微压基准,该基准装置的压力测量范围为0～2500 Pa并采用去离子水为工作介质,装置采用超声技术实现两端容器微小液位差的精确测量,同时利用激光干涉技术实现补偿容器移动距离的精确测量,基准装置主要由U型容器系统、伺服驱动系统、超声定位系统、激光测长系统、恒温槽及温度控制系统以及数据采集处理系统组成.
介紹瞭一種新型的補償式微壓基準,該基準裝置的壓力測量範圍為0～2500 Pa併採用去離子水為工作介質,裝置採用超聲技術實現兩耑容器微小液位差的精確測量,同時利用激光榦涉技術實現補償容器移動距離的精確測量,基準裝置主要由U型容器繫統、伺服驅動繫統、超聲定位繫統、激光測長繫統、恆溫槽及溫度控製繫統以及數據採集處理繫統組成.
개소료일충신형적보상식미압기준,해기준장치적압력측량범위위0～2500 Pa병채용거리자수위공작개질,장치채용초성기술실현량단용기미소액위차적정학측량,동시이용격광간섭기술실현보상용기이동거리적정학측량,기준장치주요유U형용기계통、사복구동계통、초성정위계통、격광측장계통、항온조급온도공제계통이급수거채집처리계통조성.
