粉末冶金材料科学与工程
粉末冶金材料科學與工程
분말야금재료과학여공정
POWDER METALLURGY MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2012年
6期
779-785
,共7页
孟令聪%余志明%郝诗梦%王菁清%魏秋平%焦娜
孟令聰%餘誌明%郝詩夢%王菁清%魏鞦平%焦娜
맹령총%여지명%학시몽%왕정청%위추평%초나
硼掺杂金刚石电极%金属Nb%电化学性能%化学气相沉积
硼摻雜金剛石電極%金屬Nb%電化學性能%化學氣相沉積
붕참잡금강석전겁%금속Nb%전화학성능%화학기상침적
以H2和CH4为反应气体,B2H6为硼掺杂源,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在金属Nb上制备不同硼原子浓度的硼掺杂金刚石薄膜(BDD)电极.采用场发射扫描电镜(FESEM)、拉曼光谱仪(Raman spectrometer)和电化学工作站对金刚石薄膜的形貌、质量和电化学性能进行分析,研究金刚石表面端基和电解液pH值对BDD电极电化学性能的影响.结果表明,硼烷:甲烷=1％～2％(体积分数)的氢终端BDD电极,在酸性电解液(lmol/L H2SO4)中具有最宽的电势窗口(3.8V),在酸性溶液中具有极低的背景电流(～10-5A).
以H2和CH4為反應氣體,B2H6為硼摻雜源,採用熱絲化學氣相沉積法(HFCVD)在金屬Nb上製備不同硼原子濃度的硼摻雜金剛石薄膜(BDD)電極.採用場髮射掃描電鏡(FESEM)、拉曼光譜儀(Raman spectrometer)和電化學工作站對金剛石薄膜的形貌、質量和電化學性能進行分析,研究金剛石錶麵耑基和電解液pH值對BDD電極電化學性能的影響.結果錶明,硼烷:甲烷=1％～2％(體積分數)的氫終耑BDD電極,在痠性電解液(lmol/L H2SO4)中具有最寬的電勢窗口(3.8V),在痠性溶液中具有極低的揹景電流(～10-5A).
이H2화CH4위반응기체,B2H6위붕참잡원,채용열사화학기상침적법(HFCVD)재금속Nb상제비불동붕원자농도적붕참잡금강석박막(BDD)전겁.채용장발사소묘전경(FESEM)、랍만광보의(Raman spectrometer)화전화학공작참대금강석박막적형모、질량화전화학성능진행분석,연구금강석표면단기화전해액pH치대BDD전겁전화학성능적영향.결과표명,붕완:갑완=1％～2％(체적분수)적경종단BDD전겁,재산성전해액(lmol/L H2SO4)중구유최관적전세창구(3.8V),재산성용액중구유겁저적배경전류(～10-5A).
