CAJ | 학술논문

红外焦平面阵列中盲元簇的存在增加了系统盲元补偿算法的难度和复杂度.同时,基于算法处理的红外系统对盲元簇的要求更加严格,导致红外焦平面阵列的合格率大大降低.通过对大量红外焦平面阵列产品的测试,得到了盲元类别的统计结果:单个盲元、盲元对和盲元簇的盲元分别占盲元总数的60.8％、17.6％和21.6％.经分析,确定了盲元簇的几种主要成因:前工艺阶段的材料缺陷、光刻图形缺失、铟渣残留和铟柱缺陷；后工艺中的铟柱未连通、应力导致的芯片碎裂；可靠性试验诱发的缺陷暴露与扩大.研究结果表明,在探测器材料的筛选、铟柱制备技术、低应力的工艺和结构技术等方面做进一步的优化工作,可以降低盲元簇产生的几率,从而提高红外焦平面阵列的性能和成品率.
홍외초평면진렬중맹원족적존재증가료계통맹원보상산법적난도화복잡도.동시,기우산법처리적홍외계통대맹원족적요구경가엄격,도치홍외초평면진렬적합격솔대대강저.통과대대량홍외초평면진렬산품적측시,득도료맹원유별적통계결과:단개맹원、맹원대화맹원족적맹원분별점맹원총수적60.8％、17.6％화21.6％.경분석,학정료맹원족적궤충주요성인:전공예계단적재료결함、광각도형결실、인사잔류화인주결함；후공예중적인주미련통、응력도치적심편쇄렬；가고성시험유발적결함폭로여확대.연구결과표명,재탐측기재료적사선、인주제비기술、저응력적공예화결구기술등방면주진일보적우화공작,가이강저맹원족산생적궤솔,종이제고홍외초평면진렬적성능화성품솔.