物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2012年
12期
1-4
,共4页
磁控溅射%VO2薄膜%电阻率%温度
磁控濺射%VO2薄膜%電阻率%溫度
자공천사%VO2박막%전조솔%온도
利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
利用磁控濺射技術在普通玻璃基片上製備瞭VO2薄膜,晶體結構和錶麵形貌分析錶明製備的樣品主要具有VO2相,結晶情況良好.利用自製真空變溫薄膜電阻測試儀器測試瞭VO2薄膜的電阻率隨溫度變化麯線,觀察到釩氧化物的電阻突變和熱滯現象.
이용자공천사기술재보통파리기편상제비료VO2박막,정체결구화표면형모분석표명제비적양품주요구유VO2상,결정정황량호.이용자제진공변온박막전조측시의기측시료VO2박막적전조솔수온도변화곡선,관찰도범양화물적전조돌변화열체현상.
