现代化工
現代化工
현대화공
MODERN CHEMICAL INDUSTRY
2013年
11期
14-18,20
,共6页
多晶硅%氯硅烷%精馏%反应%吸附
多晶硅%氯硅烷%精餾%反應%吸附
다정규%록규완%정류%반응%흡부
polysilicon%chlorosilane%distillation%reaction%adsorption
简述了目前多晶硅行业的生产背景和现状,介绍了多晶硅生产过程中氯硅烷精制技术的难点,重点描述了氯硅烷精制方法,主要包括精馏法、反应法、吸附法以及它们的组合,如反应-精馏法、吸附-精馏法等.对各种方法进行分类与讨论,并指出了现存方法的优缺点.最后展望了各种方法的应用前景.
簡述瞭目前多晶硅行業的生產揹景和現狀,介紹瞭多晶硅生產過程中氯硅烷精製技術的難點,重點描述瞭氯硅烷精製方法,主要包括精餾法、反應法、吸附法以及它們的組閤,如反應-精餾法、吸附-精餾法等.對各種方法進行分類與討論,併指齣瞭現存方法的優缺點.最後展望瞭各種方法的應用前景.
간술료목전다정규행업적생산배경화현상,개소료다정규생산과정중록규완정제기술적난점,중점묘술료록규완정제방법,주요포괄정류법、반응법、흡부법이급타문적조합,여반응-정류법、흡부-정류법등.대각충방법진행분류여토론,병지출료현존방법적우결점.최후전망료각충방법적응용전경.
