CAJ | 학술논문

文章建立了直接测定半导体三级甲醇多元素含量的方法。以膜去溶作为进样系统，四级杆电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）作为分析仪器，采用热焰模式分析。首先测定CMOSIII甲醇，然后测定以Be,Co,In,Bi作为加标的CMOSIII甲醇，加标样品测定加标回收率，同时测定Na,Mg,K,Ca,Fe的检出限。实验结果证明该方法具有进样速度快、精密度高等优点。热焰模式提高了碳的燃烧度，溶液中离子电离效率得到提升，降低了锥孔碳的积累，仪器信号漂移变缓，提高了准确度。膜去溶与ICP-MS联用是快速分析半导体三级甲醇中金属离子的有效方法，膜去溶的使用解决了常规雾化器进样容易熄火的问题，有效的减小了基体干扰，同时热焰模式提高了仪器的整体灵敏度。
문장건립료직접측정반도체삼급갑순다원소함량적방법。이막거용작위진양계통，사급간전감우합등리자체질보의（ICP-MS）작위분석의기，채용열염모식분석。수선측정CMOSIII갑순，연후측정이Be,Co,In,Bi작위가표적CMOSIII갑순，가표양품측정가표회수솔，동시측정Na,Mg,K,Ca,Fe적검출한。실험결과증명해방법구유진양속도쾌、정밀도고등우점。열염모식제고료탄적연소도，용액중리자전리효솔득도제승，강저료추공탄적적루，의기신호표이변완，제고료준학도。막거용여ICP-MS련용시쾌속분석반도체삼급갑순중금속리자적유효방법，막거용적사용해결료상규무화기진양용역식화적문제，유효적감소료기체간우，동시열염모식제고료의기적정체령민도。