吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2013年
6期
1148-1150
,共3页
王丽丽%闫岩%安涛%卢歆%谭芳%王立杰%邹林
王麗麗%閆巖%安濤%盧歆%譚芳%王立傑%鄒林
왕려려%염암%안도%로흠%담방%왕립걸%추림
ε-Fe3N薄膜%晶格畸变%磁性
ε-Fe3N薄膜%晶格畸變%磁性
ε-Fe3N박막%정격기변%자성
ε-Fe3N thin film%lattice distortion%magnetic property
采用直流磁控溅射方法,在氮气分压为10％的条件下获得了单相纳米晶ε-Fe3N磁性薄膜,先将薄膜样品在真空中分别于500,600,700,800℃退火,再利用X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征不同退火温度样品的结构和磁学性能.结果表明:ε-Fe3N样品在小于600℃可保持结构稳定;在退火过程中,ε-Fe3N薄膜的比饱和磁化强度变化较小;矫顽力先减小后增加;经过500℃退火的ε-Fe3N样品软磁性能最佳.
採用直流磁控濺射方法,在氮氣分壓為10％的條件下穫得瞭單相納米晶ε-Fe3N磁性薄膜,先將薄膜樣品在真空中分彆于500,600,700,800℃退火,再利用X射線衍射(XRD)和振動樣品磁彊計(VSM)錶徵不同退火溫度樣品的結構和磁學性能.結果錶明:ε-Fe3N樣品在小于600℃可保持結構穩定;在退火過程中,ε-Fe3N薄膜的比飽和磁化彊度變化較小;矯頑力先減小後增加;經過500℃退火的ε-Fe3N樣品軟磁性能最佳.
채용직류자공천사방법,재담기분압위10％적조건하획득료단상납미정ε-Fe3N자성박막,선장박막양품재진공중분별우500,600,700,800℃퇴화,재이용X사선연사(XRD)화진동양품자강계(VSM)표정불동퇴화온도양품적결구화자학성능.결과표명:ε-Fe3N양품재소우600℃가보지결구은정;재퇴화과정중,ε-Fe3N박막적비포화자화강도변화교소;교완력선감소후증가;경과500℃퇴화적ε-Fe3N양품연자성능최가.
