吉林大学学报（理学版）
吉林大學學報（理學版）
길림대학학보（이학판）
JOURNAL OF JILIN UNIVERSITY(SCIENCE EDITION)
2013年
6期
1143-1147
,共5页
徐健%陈芳慧%张玉梅%刘梅%李海波
徐健%陳芳慧%張玉梅%劉梅%李海波
서건%진방혜%장옥매%류매%리해파
FePt薄膜%厚度%织构%磁性
FePt薄膜%厚度%織構%磁性
FePt박막%후도%직구%자성
FePt film%thickness%texture%magnetic property
采用直流磁控溅射方法在表面氧化的Si(001)基片上制备不同厚度的FePt薄膜,并利用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)表征样品的形貌、结构和磁性.结果表明:将薄膜样品在H2气氛中经600℃退火1h,得到了L10-FePt薄膜;薄膜具有(001)织构或明显的(001)取向生长,随着沉积厚度的增加,FePt的晶粒尺寸变大,样品的有序化程度增大,(001)取向生长呈减弱的趋势;样品均具有明显的垂直磁各向异性,随着薄膜厚度的增加,平行膜面矫顽力增大,垂直膜面矫顽力先增大后减小,当沉积厚度为10 nm时,样品的垂直磁各向异性最佳.
採用直流磁控濺射方法在錶麵氧化的Si(001)基片上製備不同厚度的FePt薄膜,併利用原子力顯微鏡(AFM)、X射線衍射(XRD)和振動樣品磁彊計(VSM)錶徵樣品的形貌、結構和磁性.結果錶明:將薄膜樣品在H2氣氛中經600℃退火1h,得到瞭L10-FePt薄膜;薄膜具有(001)織構或明顯的(001)取嚮生長,隨著沉積厚度的增加,FePt的晶粒呎吋變大,樣品的有序化程度增大,(001)取嚮生長呈減弱的趨勢;樣品均具有明顯的垂直磁各嚮異性,隨著薄膜厚度的增加,平行膜麵矯頑力增大,垂直膜麵矯頑力先增大後減小,噹沉積厚度為10 nm時,樣品的垂直磁各嚮異性最佳.
채용직류자공천사방법재표면양화적Si(001)기편상제비불동후도적FePt박막,병이용원자력현미경(AFM)、X사선연사(XRD)화진동양품자강계(VSM)표정양품적형모、결구화자성.결과표명:장박막양품재H2기분중경600℃퇴화1h,득도료L10-FePt박막;박막구유(001)직구혹명현적(001)취향생장,수착침적후도적증가,FePt적정립척촌변대,양품적유서화정도증대,(001)취향생장정감약적추세;양품균구유명현적수직자각향이성,수착박막후도적증가,평행막면교완력증대,수직막면교완력선증대후감소,당침적후도위10 nm시,양품적수직자각향이성최가.
