硅谷
硅穀
규곡
SILICON VALLEY
2013年
16期
12-12,11
,共2页
顾国宝%王世松%廖福宇%刘枢
顧國寶%王世鬆%廖福宇%劉樞
고국보%왕세송%료복우%류추
多晶硅%还原炉%氢化炉%清洗装置
多晶硅%還原爐%氫化爐%清洗裝置
다정규%환원로%경화로%청세장치
采用改良西门子法生产多晶硅，其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备，钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本，通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题，为生产提供强有力的保障，为公司节能降耗提供措施。该研究已获得成功并已经申报专利，发明专利号为201310209212.6。
採用改良西門子法生產多晶硅，其中還原爐和氫化爐是改良西門子法生產多晶硅的覈心設備，鐘罩的潔淨直接影響生產能耗及成本，通過研究設計鏇轉清洗裝置有效解決生產實際問題，為生產提供彊有力的保障，為公司節能降耗提供措施。該研究已穫得成功併已經申報專利，髮明專利號為201310209212.6。
채용개량서문자법생산다정규，기중환원로화경화로시개량서문자법생산다정규적핵심설비，종조적길정직접영향생산능모급성본，통과연구설계선전청세장치유효해결생산실제문제，위생산제공강유력적보장，위공사절능강모제공조시。해연구이획득성공병이경신보전리，발명전리호위201310209212.6。
