电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2012年
11期
17-21
,共5页
张文斌%靳卫国%连军莉%杨松涛
張文斌%靳衛國%連軍莉%楊鬆濤
장문빈%근위국%련군리%양송도
激光加工%时序设计%PZT陶瓷
激光加工%時序設計%PZT陶瓷
격광가공%시서설계%PZT도자
Laser machining%scheduling%PZT ceramic
针对客户提出利用激光加工设备在无街区的PZT陶瓷表面进行直线切割的工艺要求．改变激光加工设备以往只针对晶片表面街区切割的单一加工模式，设计并实现新的激光加工工艺时序，拓展了激光加工设备的应用领域。
針對客戶提齣利用激光加工設備在無街區的PZT陶瓷錶麵進行直線切割的工藝要求．改變激光加工設備以往隻針對晶片錶麵街區切割的單一加工模式，設計併實現新的激光加工工藝時序，拓展瞭激光加工設備的應用領域。
침대객호제출이용격광가공설비재무가구적PZT도자표면진행직선절할적공예요구．개변격광가공설비이왕지침대정편표면가구절할적단일가공모식，설계병실현신적격광가공공예시서，탁전료격광가공설비적응용영역。
Be aim to the new requirement of the without any block on the surface of sapphire wafer, the new scheduling. This function has changed consumers about Laser Machining PZT ceramic this article discuss and achieve the function about the single machining mode and expanded theapplication of laser machining equipment.
