上海师范大学学报（自然科学版）
上海師範大學學報（自然科學版）
상해사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGHAI TEACHERS UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2012年
6期
653-657
,共5页
金成超%王飞飞%石旺舟%姚其容
金成超%王飛飛%石旺舟%姚其容
금성초%왕비비%석왕주%요기용
无铅薄膜%PLD%介电性%铁电性
無鉛薄膜%PLD%介電性%鐵電性
무연박막%PLD%개전성%철전성
发展环境友好的传感器、存贮器及换能器用铁电与压电薄膜是当前的研究热点之一.采用脉冲激光沉积(PLD)的方法,通过优化制备工艺,引入La0.6SF0.4CoO3 (LSCO)作为缓冲层,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了准同型相界组分掺杂微量Mn元素的Bi0.5Na0.5TiO5-BaTiO334薄膜,并对其相结构、微观形貌、铁电、介电等性能进行了研究.结果表明:该薄膜具有纯钙钛矿结构,结构致密,显示出良好的电性能,其中剩余极化可达到1.15×10-1 C·m-2,1 kHz下薄膜的相对介电常数约1000.
髮展環境友好的傳感器、存貯器及換能器用鐵電與壓電薄膜是噹前的研究熱點之一.採用脈遲激光沉積(PLD)的方法,通過優化製備工藝,引入La0.6SF0.4CoO3 (LSCO)作為緩遲層,在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭準同型相界組分摻雜微量Mn元素的Bi0.5Na0.5TiO5-BaTiO334薄膜,併對其相結構、微觀形貌、鐵電、介電等性能進行瞭研究.結果錶明:該薄膜具有純鈣鈦礦結構,結構緻密,顯示齣良好的電性能,其中剩餘極化可達到1.15×10-1 C·m-2,1 kHz下薄膜的相對介電常數約1000.
발전배경우호적전감기、존저기급환능기용철전여압전박막시당전적연구열점지일.채용맥충격광침적(PLD)적방법,통과우화제비공예,인입La0.6SF0.4CoO3 (LSCO)작위완충층,재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료준동형상계조분참잡미량Mn원소적Bi0.5Na0.5TiO5-BaTiO334박막,병대기상결구、미관형모、철전、개전등성능진행료연구.결과표명:해박막구유순개태광결구,결구치밀,현시출량호적전성능,기중잉여겁화가체도1.15×10-1 C·m-2,1 kHz하박막적상대개전상수약1000.
