材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2014年
7期
139-144
,共6页
蒋小军%王军%沈金朋%李瑞%杨光成%黄辉
蔣小軍%王軍%瀋金朋%李瑞%楊光成%黃輝
장소군%왕군%침금붕%리서%양광성%황휘
纳米反应多层膜%磁控溅射%自持反应%微/纳米含能器件
納米反應多層膜%磁控濺射%自持反應%微/納米含能器件
납미반응다층막%자공천사%자지반응%미/납미함능기건
nano reactive multilayer films%magnetron sputtering%self-sustaining reaction%micro/nano energetic device
纳米反应多层膜是指两种或两种以上不同材料按一定厚度在衬底上交替沉积形成的薄膜材料.纳米反应多层膜是一种新结构形式的纳米含能材料,可在较低的能量刺激下发生放热反应,产生的热量足以使反应区以特定的速度自持传播,具有反应瞬间完成、放热量大等特点.由于结构可自行设计以及不同于单层膜的特殊性能,纳米反应多层膜可广泛应用于微电子器件、微机械系统(MEMS)等领域.对近年来国内外纳米反应多层膜的制备方法、反应机理以及在器件应用等方面的研究进行了综述,主要分析讨论了机械加工、蒸发镀膜和磁控溅射3种制备方法的优缺点,并对今后纳米反应多层膜的研究方向及研究重点进行了展望.
納米反應多層膜是指兩種或兩種以上不同材料按一定厚度在襯底上交替沉積形成的薄膜材料.納米反應多層膜是一種新結構形式的納米含能材料,可在較低的能量刺激下髮生放熱反應,產生的熱量足以使反應區以特定的速度自持傳播,具有反應瞬間完成、放熱量大等特點.由于結構可自行設計以及不同于單層膜的特殊性能,納米反應多層膜可廣汎應用于微電子器件、微機械繫統(MEMS)等領域.對近年來國內外納米反應多層膜的製備方法、反應機理以及在器件應用等方麵的研究進行瞭綜述,主要分析討論瞭機械加工、蒸髮鍍膜和磁控濺射3種製備方法的優缺點,併對今後納米反應多層膜的研究方嚮及研究重點進行瞭展望.
납미반응다층막시지량충혹량충이상불동재료안일정후도재츤저상교체침적형성적박막재료.납미반응다층막시일충신결구형식적납미함능재료,가재교저적능량자격하발생방열반응,산생적열량족이사반응구이특정적속도자지전파,구유반응순간완성、방열량대등특점.유우결구가자행설계이급불동우단층막적특수성능,납미반응다층막가엄범응용우미전자기건、미궤계계통(MEMS)등영역.대근년래국내외납미반응다층막적제비방법、반응궤리이급재기건응용등방면적연구진행료종술,주요분석토론료궤계가공、증발도막화자공천사3충제비방법적우결점,병대금후납미반응다층막적연구방향급연구중점진행료전망.
