湖南有色金属
湖南有色金屬
호남유색금속
HUNAN NONFERROUS METALS
2012年
6期
50-53
,共4页
纯硅%除硼%除磷
純硅%除硼%除燐
순규%제붕%제린
对目前硅中硼、磷去除技术进行了综述,并针对生产高纯硅过程中硼、磷难除去的问题,提出采用熔炼造渣-酸洗的新工艺流程去除硼、磷.结果表明:通过熔炼造渣-酸洗处理之后,硼的含量可降至0.5μg/g以内,磷的含量可降至1.2 μg/g.该工艺除杂效果显著、流程简单、成本低、易实现产业化;可有效地处理硼、磷含量高的硅料,且除杂效果显著.
對目前硅中硼、燐去除技術進行瞭綜述,併針對生產高純硅過程中硼、燐難除去的問題,提齣採用鎔煉造渣-痠洗的新工藝流程去除硼、燐.結果錶明:通過鎔煉造渣-痠洗處理之後,硼的含量可降至0.5μg/g以內,燐的含量可降至1.2 μg/g.該工藝除雜效果顯著、流程簡單、成本低、易實現產業化;可有效地處理硼、燐含量高的硅料,且除雜效果顯著.
대목전규중붕、린거제기술진행료종술,병침대생산고순규과정중붕、린난제거적문제,제출채용용련조사-산세적신공예류정거제붕、린.결과표명:통과용련조사-산세처리지후,붕적함량가강지0.5μg/g이내,린적함량가강지1.2 μg/g.해공예제잡효과현저、류정간단、성본저、역실현산업화;가유효지처리붕、린함량고적규료,차제잡효과현저.