激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2013年
11期
1248-1251
,共4页
檀亚松%余辉%郝寅雷%杨建义%江晓清
檀亞鬆%餘輝%郝寅雷%楊建義%江曉清
단아송%여휘%학인뢰%양건의%강효청
中红外%悬浮波导%热光效应%调制器%集成光学
中紅外%懸浮波導%熱光效應%調製器%集成光學
중홍외%현부파도%열광효응%조제기%집성광학
mid-infrared%suspended waveguide%thermo-optic effect%modulator%integrated optics
设计了一种基于SOI(Silicon-On-Insulator)单模中红外低损耗悬浮脊波导的MMI-MZI型热光调制器.对单模悬浮脊波导和基于悬浮波导的调制器的参数进行了分析,并给出了工艺实现方法.在波长5.4 μm,采用3D-BPM(Beam Propagation Method)方法对热光调制器的模型进行了传输特性的仿真.结果表明在加热电极长度为3 mm时,热光作用区通过很小的温度变化△T=5.3℃时,可以实现消光比为-40 dB.该中红外器件尺寸大,设计和制作容差大,在中红外硅基光子学有着重要的应用.
設計瞭一種基于SOI(Silicon-On-Insulator)單模中紅外低損耗懸浮脊波導的MMI-MZI型熱光調製器.對單模懸浮脊波導和基于懸浮波導的調製器的參數進行瞭分析,併給齣瞭工藝實現方法.在波長5.4 μm,採用3D-BPM(Beam Propagation Method)方法對熱光調製器的模型進行瞭傳輸特性的倣真.結果錶明在加熱電極長度為3 mm時,熱光作用區通過很小的溫度變化△T=5.3℃時,可以實現消光比為-40 dB.該中紅外器件呎吋大,設計和製作容差大,在中紅外硅基光子學有著重要的應用.
설계료일충기우SOI(Silicon-On-Insulator)단모중홍외저손모현부척파도적MMI-MZI형열광조제기.대단모현부척파도화기우현부파도적조제기적삼수진행료분석,병급출료공예실현방법.재파장5.4 μm,채용3D-BPM(Beam Propagation Method)방법대열광조제기적모형진행료전수특성적방진.결과표명재가열전겁장도위3 mm시,열광작용구통과흔소적온도변화△T=5.3℃시,가이실현소광비위-40 dB.해중홍외기건척촌대,설계화제작용차대,재중홍외규기광자학유착중요적응용.
