微特电机
微特電機
미특전궤
SMALL & SPECIAL ELECTRICAL MACHINES
2013年
11期
16-19
,共4页
激光%永磁直线电动机%磁路互补%光刻%光栅%TMS320F2812%FPGA
激光%永磁直線電動機%磁路互補%光刻%光柵%TMS320F2812%FPGA
격광%영자직선전동궤%자로호보%광각%광책%TMS320F2812%FPGA
laser%permanent magnet linear motor%magnetic circuit complement%optical lithography%grating%TMS320F2812%FPGA
为了提高大尺寸激光防伪商标全息母板制作的效率和精度,开发了以新型初级永磁直线电动机驱动的X-Y工作台,以工业控制计算机为上位机、TMS320F2812为下位机的高速光刻机,并采用动态曝光的工作模式,实现了高速高精度定位.解决了传统光刻机需要在静止状态下完成曝光的难题,光刻速度提高10倍,解决了制作大尺寸防伪商标困难的问题,较大地提升了激光全息防伪商标的制作技术水平.
為瞭提高大呎吋激光防偽商標全息母闆製作的效率和精度,開髮瞭以新型初級永磁直線電動機驅動的X-Y工作檯,以工業控製計算機為上位機、TMS320F2812為下位機的高速光刻機,併採用動態曝光的工作模式,實現瞭高速高精度定位.解決瞭傳統光刻機需要在靜止狀態下完成曝光的難題,光刻速度提高10倍,解決瞭製作大呎吋防偽商標睏難的問題,較大地提升瞭激光全息防偽商標的製作技術水平.
위료제고대척촌격광방위상표전식모판제작적효솔화정도,개발료이신형초급영자직선전동궤구동적X-Y공작태,이공업공제계산궤위상위궤、TMS320F2812위하위궤적고속광각궤,병채용동태폭광적공작모식,실현료고속고정도정위.해결료전통광각궤수요재정지상태하완성폭광적난제,광각속도제고10배,해결료제작대척촌방위상표곤난적문제,교대지제승료격광전식방위상표적제작기술수평.