材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
22期
26-28
,共3页
陈颖超%刘彭义%唐振方%叶勤
陳穎超%劉彭義%唐振方%葉勤
진영초%류팽의%당진방%협근
VO2薄膜%射频磁控溅射%相变
VO2薄膜%射頻磁控濺射%相變
VO2박막%사빈자공천사%상변
VO2 thin film%RF magnetron sputtering%phase transition
采用射频反应磁控溅射法在普通玻璃衬底上沉积氧化钒薄膜,在高纯N2环境中,不同温度下(350℃、400℃、450℃、500℃)热处理60 min,发现当热处理温度为400℃时,获得具有相变特性的VO2薄膜,其红外光透光率和电导率发生显著变化.薄膜相变温度为55℃左右,相变前后光透过率变化了13％,电阻变化了1.8个数量级.
採用射頻反應磁控濺射法在普通玻璃襯底上沉積氧化釩薄膜,在高純N2環境中,不同溫度下(350℃、400℃、450℃、500℃)熱處理60 min,髮現噹熱處理溫度為400℃時,穫得具有相變特性的VO2薄膜,其紅外光透光率和電導率髮生顯著變化.薄膜相變溫度為55℃左右,相變前後光透過率變化瞭13％,電阻變化瞭1.8箇數量級.
채용사빈반응자공천사법재보통파리츤저상침적양화범박막,재고순N2배경중,불동온도하(350℃、400℃、450℃、500℃)열처리60 min,발현당열처리온도위400℃시,획득구유상변특성적VO2박막,기홍외광투광솔화전도솔발생현저변화.박막상변온도위55℃좌우,상변전후광투과솔변화료13％,전조변화료1.8개수량급.
