材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2013年
22期
22-25
,共4页
赵齐%代明江%韦春贝%邱万奇%侯惠君
趙齊%代明江%韋春貝%邱萬奇%侯惠君
조제%대명강%위춘패%구만기%후혜군
金刚石薄膜%铬过渡层%钨丝-基体表面距离%热丝化学气相沉积
金剛石薄膜%鉻過渡層%鎢絲-基體錶麵距離%熱絲化學氣相沉積
금강석박막%락과도층%오사-기체표면거리%열사화학기상침적
diamond films%interlayer of chromium%distance from filament to substrate surface%hot filament chemical vapor deposition
以紫铜为基体,在紫铜上先采用磁控溅射技术镀一层金属铬,再以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在铬过渡层上合成金刚石薄膜.利用X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)、扫描电镜(SEM)分析薄膜的结构、成分和表面形貌,采用洛式硬度计压痕试验测量了膜基结合力,研究了钨丝-基体表面距离对金刚石薄膜质量的影响.研究发现:当钨丝-基体表面距离在5～9mm时,金刚石晶型很好,薄膜致密度较好,晶粒的平均尺寸为6～7μm,薄膜内应力为-2.15 GPa;当钨丝-基体表面距离在9～15 mm时,金刚石的晶型相对较好,但薄膜致密性不好,晶粒的平均尺寸为7～8 μm,薄膜内应力为-1.59 GPa;当钨丝-基体表面距离大于15mm后,金刚石的晶型较差,不能形成连续的金刚石薄膜,晶粒的平均尺寸为5～6μm,薄膜内应力约为0 GPa;铬过渡层不能有效提高金刚石薄膜与铜基体的结合力.
以紫銅為基體,在紫銅上先採用磁控濺射技術鍍一層金屬鉻,再以H2和CH4作為反應氣體,採用熱絲化學氣相沉積法(HFCVD)在鉻過渡層上閤成金剛石薄膜.利用X射線衍射(XRD)、激光拉曼光譜(Raman)、掃描電鏡(SEM)分析薄膜的結構、成分和錶麵形貌,採用洛式硬度計壓痕試驗測量瞭膜基結閤力,研究瞭鎢絲-基體錶麵距離對金剛石薄膜質量的影響.研究髮現:噹鎢絲-基體錶麵距離在5～9mm時,金剛石晶型很好,薄膜緻密度較好,晶粒的平均呎吋為6～7μm,薄膜內應力為-2.15 GPa;噹鎢絲-基體錶麵距離在9～15 mm時,金剛石的晶型相對較好,但薄膜緻密性不好,晶粒的平均呎吋為7～8 μm,薄膜內應力為-1.59 GPa;噹鎢絲-基體錶麵距離大于15mm後,金剛石的晶型較差,不能形成連續的金剛石薄膜,晶粒的平均呎吋為5～6μm,薄膜內應力約為0 GPa;鉻過渡層不能有效提高金剛石薄膜與銅基體的結閤力.
이자동위기체,재자동상선채용자공천사기술도일층금속락,재이H2화CH4작위반응기체,채용열사화학기상침적법(HFCVD)재락과도층상합성금강석박막.이용X사선연사(XRD)、격광랍만광보(Raman)、소묘전경(SEM)분석박막적결구、성분화표면형모,채용락식경도계압흔시험측량료막기결합력,연구료오사-기체표면거리대금강석박막질량적영향.연구발현:당오사-기체표면거리재5～9mm시,금강석정형흔호,박막치밀도교호,정립적평균척촌위6～7μm,박막내응력위-2.15 GPa;당오사-기체표면거리재9～15 mm시,금강석적정형상대교호,단박막치밀성불호,정립적평균척촌위7～8 μm,박막내응력위-1.59 GPa;당오사-기체표면거리대우15mm후,금강석적정형교차,불능형성련속적금강석박막,정립적평균척촌위5～6μm,박막내응력약위0 GPa;락과도층불능유효제고금강석박막여동기체적결합력.
