真空
真空
진공
VACUUM
2012年
6期
50-54
,共5页
类金刚石膜%中频脉冲非平衡磁控溅射%气体压强比例%结构与性能
類金剛石膜%中頻脈遲非平衡磁控濺射%氣體壓彊比例%結構與性能
류금강석막%중빈맥충비평형자공천사%기체압강비례%결구여성능
以高纯石墨为靶材、氩气(Ar)和甲烷(CH4)为辅助气体,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在不同气体压强比例下制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、拉曼光谱仪、傅立叶变换红外光谱仪、纳米压痕测试仪对所制备薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能进行了分析.结果表明:当Ar气压强比例由17％增加到50％时,类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而增加,当Ar气压强比例由50％增加到86％时,薄膜的RMS表面粗糙度、sp3杂化键含量、纳米硬度、弹性模量随Ar气压强比例的增加而减小.以上结果说明辅助气体压强比例对类金刚石薄膜的表面形貌、微观结构、机械性能有较大的影响.
以高純石墨為靶材、氬氣(Ar)和甲烷(CH4)為輔助氣體,利用中頻脈遲非平衡磁控濺射技術在不同氣體壓彊比例下製備瞭類金剛石薄膜,採用原子力顯微鏡、拉曼光譜儀、傅立葉變換紅外光譜儀、納米壓痕測試儀對所製備薄膜的錶麵形貌、微觀結構、機械性能進行瞭分析.結果錶明:噹Ar氣壓彊比例由17％增加到50％時,類金剛石薄膜的RMS錶麵粗糙度、sp3雜化鍵含量、納米硬度、彈性模量隨Ar氣壓彊比例的增加而增加,噹Ar氣壓彊比例由50％增加到86％時,薄膜的RMS錶麵粗糙度、sp3雜化鍵含量、納米硬度、彈性模量隨Ar氣壓彊比例的增加而減小.以上結果說明輔助氣體壓彊比例對類金剛石薄膜的錶麵形貌、微觀結構、機械性能有較大的影響.
이고순석묵위파재、아기(Ar)화갑완(CH4)위보조기체,이용중빈맥충비평형자공천사기술재불동기체압강비례하제비료류금강석박막,채용원자력현미경、랍만광보의、부립협변환홍외광보의、납미압흔측시의대소제비박막적표면형모、미관결구、궤계성능진행료분석.결과표명:당Ar기압강비례유17％증가도50％시,류금강석박막적RMS표면조조도、sp3잡화건함량、납미경도、탄성모량수Ar기압강비례적증가이증가,당Ar기압강비례유50％증가도86％시,박막적RMS표면조조도、sp3잡화건함량、납미경도、탄성모량수Ar기압강비례적증가이감소.이상결과설명보조기체압강비례대류금강석박막적표면형모、미관결구、궤계성능유교대적영향.
