真空
真空
진공
VACUUM
2012年
6期
47-49
,共3页
陈庆东%王俊平%马国利%张宇翔%卢景霄
陳慶東%王俊平%馬國利%張宇翔%盧景霄
진경동%왕준평%마국리%장우상%로경소
VHF-PECVD%微晶硅%激活能%氧污染
VHF-PECVD%微晶硅%激活能%氧汙染
VHF-PECVD%미정규%격활능%양오염
通过激活能测试装置测量VHF-PECVD高速沉积的本征微晶硅薄膜的激活能,结果表明:在不同沉积条件下制备的本征微晶硅薄膜,晶化处于非晶-微晶相变域附近,激活能都偏低,存在氧污染问题,研究了氧污染解决途径.
通過激活能測試裝置測量VHF-PECVD高速沉積的本徵微晶硅薄膜的激活能,結果錶明:在不同沉積條件下製備的本徵微晶硅薄膜,晶化處于非晶-微晶相變域附近,激活能都偏低,存在氧汙染問題,研究瞭氧汙染解決途徑.
통과격활능측시장치측량VHF-PECVD고속침적적본정미정규박막적격활능,결과표명:재불동침적조건하제비적본정미정규박막,정화처우비정-미정상변역부근,격활능도편저,존재양오염문제,연구료양오염해결도경.
