真空
真空
진공
VACUUM
2012年
6期
35-38
,共4页
氧化钇涂层%粘接层%反应溅射%结合力%纳米硬度
氧化釔塗層%粘接層%反應濺射%結閤力%納米硬度
양화을도층%점접층%반응천사%결합력%납미경도
为了研究添加粘接层对复合涂层的影响,采用脉冲反应溅射在316L不锈钢基体上制备了调制周期为700 nm左右(5层)的Y2O3/Er2O3复合涂层,通过调整氧氩比制备了不饱和氧化钇(YOx,x＜1.5)作为粘接层,研究了添加粘接层对复合涂层相组成、组织形貌以及涂层与基底结合情况的影响.X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、结合力及纳米硬度分析结果表明,当氧分压为0.036 Pa制备YO1.401粘接层时,Y2O3/Er2O3/YOx涂层的结合力相比于Y2O3/Er2O3复合涂层,涂层与基体的结合力增大了约60％,纳米硬度增大了近30％,绝缘电阻率测试结果表明,Y2O3/Er2O3/YOx涂层绝缘电阻率在1×109Ω·cm～1×1011Ω ·cm,绝缘性能良好.
為瞭研究添加粘接層對複閤塗層的影響,採用脈遲反應濺射在316L不鏽鋼基體上製備瞭調製週期為700 nm左右(5層)的Y2O3/Er2O3複閤塗層,通過調整氧氬比製備瞭不飽和氧化釔(YOx,x＜1.5)作為粘接層,研究瞭添加粘接層對複閤塗層相組成、組織形貌以及塗層與基底結閤情況的影響.X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、結閤力及納米硬度分析結果錶明,噹氧分壓為0.036 Pa製備YO1.401粘接層時,Y2O3/Er2O3/YOx塗層的結閤力相比于Y2O3/Er2O3複閤塗層,塗層與基體的結閤力增大瞭約60％,納米硬度增大瞭近30％,絕緣電阻率測試結果錶明,Y2O3/Er2O3/YOx塗層絕緣電阻率在1×109Ω·cm～1×1011Ω ·cm,絕緣性能良好.
위료연구첨가점접층대복합도층적영향,채용맥충반응천사재316L불수강기체상제비료조제주기위700 nm좌우(5층)적Y2O3/Er2O3복합도층,통과조정양아비제비료불포화양화을(YOx,x＜1.5)작위점접층,연구료첨가점접층대복합도층상조성、조직형모이급도층여기저결합정황적영향.X사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)、결합력급납미경도분석결과표명,당양분압위0.036 Pa제비YO1.401점접층시,Y2O3/Er2O3/YOx도층적결합력상비우Y2O3/Er2O3복합도층,도층여기체적결합력증대료약60％,납미경도증대료근30％,절연전조솔측시결과표명,Y2O3/Er2O3/YOx도층절연전조솔재1×109Ω·cm～1×1011Ω ·cm,절연성능량호.
