贵州师范学院学报
貴州師範學院學報
귀주사범학원학보
JOURNAL OF GUIZHOU EDUCATIONAL INSTITUTE
2012年
9期
13-17
,共5页
周筑文%陈德良%王元生%李振宇
週築文%陳德良%王元生%李振宇
주축문%진덕량%왕원생%리진우
多频电容放电%离子能量分布%调制信号%高低频率%计算模型
多頻電容放電%離子能量分佈%調製信號%高低頻率%計算模型
다빈전용방전%리자능량분포%조제신호%고저빈솔%계산모형
multiple frequencies capacitive discharge%ion energy distributions (IEDs)%resonance wave%highand low frequencies%computational model
在等离子体多频电容放电过程中不同频率的电压、谐波、频率、是如何影响离子的能量分布,分析和把握这种现象和成因机制,对于更好地控制集成电路蚀刻等微处理技术,以及对等离子体物理基础理论研究均有重要作用。着重讨论高低频(双频)激励电容耦合放电过程中的粒子能量分布函数(IEDs),从理论分析推导出多频激励信号的离子能量分布函数计算模型。通过该计算模型可以分析和预测不同高低频激励的离子能量分布,计算结果与目前国内外公开发表学术期刊研究的相关结论基本吻合。
在等離子體多頻電容放電過程中不同頻率的電壓、諧波、頻率、是如何影響離子的能量分佈,分析和把握這種現象和成因機製,對于更好地控製集成電路蝕刻等微處理技術,以及對等離子體物理基礎理論研究均有重要作用。著重討論高低頻(雙頻)激勵電容耦閤放電過程中的粒子能量分佈函數(IEDs),從理論分析推導齣多頻激勵信號的離子能量分佈函數計算模型。通過該計算模型可以分析和預測不同高低頻激勵的離子能量分佈,計算結果與目前國內外公開髮錶學術期刊研究的相關結論基本吻閤。
재등리자체다빈전용방전과정중불동빈솔적전압、해파、빈솔、시여하영향리자적능량분포,분석화파악저충현상화성인궤제,대우경호지공제집성전로식각등미처리기술,이급대등리자체물리기출이론연구균유중요작용。착중토론고저빈(쌍빈)격려전용우합방전과정중적입자능량분포함수(IEDs),종이론분석추도출다빈격려신호적리자능량분포함수계산모형。통과해계산모형가이분석화예측불동고저빈격려적리자능량분포,계산결과여목전국내외공개발표학술기간연구적상관결론기본문합。
It is important to analyze the phenomenon and of the way the vo]tages, resonant and frequencies influence are on the ion energy distributions (IEDs) from multiple frequencies driven in capacitive dis- charges in order to control the microelectronic processes of integrated circuit and develop the base theories of plasma physics. The paper focuses on the function of the ion energy distributions under high and low frequencies ( dual fre- quency) drive in capacitive discharges and derived a model of computation of the multiple frequencies driven IEDs from analyzing theories. The model can analyze and predict the IEDs under different high and low frequencies driven, the results from the model are in good agreement with the important data in public magazines.