MMIC高温工作加速寿命试验失效机理分析
MMIC고온공작가속수명시험실효궤리분석
Failure Mechanism Analysis in MMIC HTOL Experiments
  • 万方数据
    固体电子学研究与进展 고체전자학연구여진전
    RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
    2012年 6期 542-547 ,共6页

    林罡%贾东铭%耿涛%黄念宁%徐波%薛静%高建峰%金毓铨

    림강%가동명%경도%황념저%서파%설정%고건봉%금육전

    砷化镓%微波单片集成电路%赝配高电子迁移率晶体管%高温工作寿命%失效分析 砷化鎵%微波單片集成電路%贗配高電子遷移率晶體管%高溫工作壽命%失效分析
    신화가%미파단편집성전로%안배고전자천이솔정체관%고온공작수명%실효분석
    采用恒定功耗高温加速的试验方法,搭建了相关的试验系统,对高温工作寿命试验(HTOL)方法在功率GaAs MMIC领域的应用进行了一些探索.试验获得了对失效机理进行分析所需的失效数,所有样品的失效都是由同一原因引起的.通过监测数据和失效样品的分析,发现存在欧姆接触退化与栅金属下沉两种失效机理,但最终引起失效的机理单一,为栅金属下沉.
    채용항정공모고온가속적시험방법,탑건료상관적시험계통,대고온공작수명시험(HTOL)방법재공솔GaAs MMIC영역적응용진행료일사탐색.시험획득료대실효궤리진행분석소수적실효수,소유양품적실효도시유동일원인인기적.통과감측수거화실효양품적분석,발현존재구모접촉퇴화여책금속하침량충실효궤리,단최종인기실효적궤리단일,위책금속하침.
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